Epitassia

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L'epitassía o epitassi^[1] (dal greco ἐπί, epí, "sopra" e τάξις, tàxis, "ordinamento, disposizione")^[2] è la deposizione di sottili strati di materiale cristallino su un substrato massivo, anch'esso cristallino, che ne indirizza la crescita e ne determina le proprietà strutturali. Lo spessore dello strato epitassiale può variare dalla frazione di nanometro a centinaia di micron. L'epitassia può definirsi omoepitassia quando il materiale da depositare è lo stesso del substrato massivo, oppure eteroepitassia, quando il materiale da depositare è chimicamente differente dal substrato.^[3][4]