Nanolitografia

Con il termine nanolitografia ci si riferisce alla fabbricazione di strutture su scala nanometrica, vale a dire a modelli con almeno una dimensione laterale compresa tra la grandezza di un singolo atomo e quella di circa 100 nm. La nanolitografia viene utilizzata nella fabbricazione della nanocircuiteria d'avanguardia di circuiti integrati semiconduttori o di sistemi nanoelettromeccanici (NEMS).

La nanolitografia è quel ramo della nanotecnologia che si occupa dello studio e applicazione della fabbricazione di strutture su scala nanometrica come i circuiti semiconduttori.

Dal 2007 la nanolitografia è un settore di ricerca molto attivo nelle università e nell'industria.