Profilometr

Profilometr – przyrząd pomiarowy służący do pomiaru parametrów chropowatości i falistości powierzchni. Na podstawie topografii powierzchni obliczane są wymiary krytyczne takie jak krzywizna i płaskość.

Pod względem historycznym pojęcia "profilometr" używano do określenia urządzenia podobnego do fonografu, który mierzy topografię podczas przemieszczania się powierzchni badanej względem igły profilometru stykowego. Jednak pojęcie to zmienia się wraz z pojawieniem się wielu bezkontaktowych technik profilometrycznych.

W zależności od metody pomiaru rozróżniamy:

• profilometry kontaktowe:
  • profilometr stykowy
  • mikroskopia sił atomowych (ATM)
  • skaningowa mikroskopia tunelowa
• profilometry bezkontaktowe optyczne
  • oparte na interferometrii:
    • cyfrowa mikroskopia holograficzna
    • interferometria światła białego
    • różnicowa mikroskopia kontrastowo-interferencyjna (mikroskopia Nomarskiego)
  • oparte na metodzie rzutowania:
    • profilometria Fouriera,
    • metoda mory cieniowej
    • metody odbicia wzorcowego

Współczesne profilometry mierzą nie tylko statyczną topografię, ale również dynamiczne zmiany na powierzchni w czasie rzeczywistym.