MEMS-Oszillator

MEMS-Oszillatoren sind elektronische Oszillatorschaltungen, die als wesentliches frequenzbestimmendes Element einen Resonator aus Polysilizium enthalten. MEMS ist die Abkürzung für englisch micro electro mechanical system, ein Mikrosystem.

Im Gegensatz zu den im Anwendungsbereich vergleichbaren Quarzoszillatoren wird der MEMS-Resonator zusammen mit anderen elektronischen Schaltungen auf einem Halbleiter-Die hergestellt, was kleinere Abmessungen ermöglicht. Die Entwicklung zu ersten MEMS-Oszillatoren, damals als Resonistor bezeichnet, gehen auf Arbeiten um Raymond J. Wilfinger bei der Firma IBM Ende der 1960er Jahre zurück.^[1][2] Doch erst in den 2000er Jahren gelang es, markttaugliche MEMS-Oszillatoren in Serie herzustellen.

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