Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik (MST, englisch micro systems technology), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.^[1] Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.

Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.

1. ↑ Jan G. Korvink, Oliver Paul: MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2006, ISBN 3-540-21117-9, doi:10.1007/978-3-540-33655-6 (englisch).