Une micropompe est un dispositif gérant l’aspiration et le refoulement à l’échelle micrométrique d’un fluide comme le font les pompes traditionnelles aux échelles supérieures.
Les micropompes sont généralement issues de la recherche en microfluidique. Leur développement a réellement été amorcé dans les années 1980, à la suite de l’introduction des micro- et nanotechnologies : la première micropompe, réalisée par H.T.G. Van Lintel, F.C.M. Van de Pol et S. Bouwstra date de 1988[1].
Les micropompes se répartissent en deux catégories :
les micropompes dites « mécaniques » qui utilisent des pièces mobiles pour agir sur le fluide. La partie mobile (membranes, valve) peut être mue, le plus couramment, par énergies magnétique, pneumatique ou encore par piézoélectricité ;
les micropompes dites « énergétiques », où une énergie électrique ou magnétique, la plupart du temps, est transférée au fluide et induit son déplacement. Typiquement, cela se fait par électro-osmose ou par électro-hydro-dynamique.
Les différents principes de fonctionnement sont présentés dans les publications de D.J. Laser et J.G. Santiago[2] ainsi qu'à ceux de P. Woias[3].
↑(en) H.T.G. Van Lintel, F.C.M. Van de Pol et S. Bouwstra, « A piezoelectric micropump based on micromachining of silicon », Sensors and Actuators, vol. 15, , p. 153-167