Saliciure

Le terme saliciure (de l'anglais salicide) désigne une technique utilisée en microélectronique pour former des contacts électriques entre un composant à semi-conducteur en silicium et sa structure d'interconnexion au reste du circuit électrique.

Ce contact est établi par la formation d'un siliciure métallique autoaligné, produit par la réaction entre une couche mince de métal et le silicium de la région active du composant par des séries de recuits et de gravures. Le terme « saliciure » provient de la francisation du mot-valise anglophone salicide, contraction du terme self-aligned silicide (siliciure auto-aligné). Le terme « auto-aligné » suggère le fait que la formation du contact se fait sans avoir recours à des procédés de type photolithographie (bien qu'il soit possible d'utiliser la photolithographie pour ce genre de procédés), et marque l'opposition avec des techniques de contact « non-aligné » telles que le contact par polyciure (siliciure de polysilicium). Le terme « saliciure » désigne parfois aussi le siliciure métallique lui-même bien que cette appellation ne respecte pas les conventions adoptées en chimie.